الوصف:
MKS RF Matchers (المعروفة أيضاً باسم صناديق/شبكات المطابقة RF) هي أجهزة مطابقة ممانعة تلقائية عالية الأداء مصممة لأنظمة أشباه الموصلات وأنظمة البلازما الصناعية. تقوم بشكل ديناميكي بمواءمة معاوقة خرج 50Ω لمولدات RF مع المعاوقة المتغيرة لغرف البلازما، وأجهزة الحفر (etchers)، وأنظمة PECVD، وأدوات الرش (sputtering)، مما يقلل القدرة المنعكسة ويزيد كفاءة نقل الطاقة إلى الحد الأقصى. تتميز بضبط سريع، وتدريع قوي، وتصميمات مدمجة للتركيب في الرفوف، مما يضمن اشتعال بلازما مستقر، وأداء عملية متسق، وموثوقية إنتاج على مدار 24/7. متوفرة بحالات جديدة، مُجددة، ومستعملة تم اختبارها بالكامل.
المواصفات الرئيسية:
- مطابقة الممانعة التلقائية: ضبط فوري لمواءمة خرج المولد 50Ω مع ممانعة حمل البلازما المتغيرة؛ يقلل القدرة المنعكسة (عادةً
- سرعة ضبط عالية: استجابة عالية السرعة (
- تغطية واسعة للتردد والطاقة: يدعم 13.56MHz (قياسي)، 27.12MHz، 40.68MHz؛ تصنيفات قدرة من 300W إلى 10kW
- بنية متينة: هيكل معدني شديد التحمل مع تدريع EMI/RFI؛ تبريد بالهواء بشكل قياسي (خيار تبريد بالماء للطرازات عالية القدرة)
- مكونات دقيقة: مكثفات متغيرة عالية الجودة، ومحاثات، ومحركات خطوية لعمر دورة طويل (أكثر من 1,000,000 دورة)
التطبيقات:
- تصنيع أشباه الموصلات: حفر RIE/ICP، ترسيب PECVD/LPCVD، إزالة البلازما (plasma ashing)، تنظيف الرقائق (wafer cleaning)، أنظمة قفل التحميل (load lock systems)
- الطلاء بالفراغ: الرش (sputtering)، التبخير، ترسيب الأغشية الرقيقة PVD/CVD للبصريات، الشاشات، والخلايا الشمسية
- معالجة البلازما الصناعية: تنشيط الأسطح، التنظيف، الحفر، والطلاء للمعادن، البلاستيك، والسيراميك
- البحث والتطوير: مختبرات الجامعات، المؤسسات البحثية، وخطوط الإنتاج التجريبية التي تتطلب توصيل RF بلازما مستقر
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانة؟
A: منتجات أصلية جديدة كلياً. ضمان لمدة سنة واحدة مشمول.
س2: ما هي شروط الدفع الخاصة بكم؟
A: T/T، وPaypal مدعومان.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ هل يوجد مخزون كافٍ؟
A: الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
A: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
A: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.