الوصف:
جهازات مطابقة RF من MKS (وتُسمى أيضًا صناديق/شبكات المطابقة RF) هي أجهزة مطابقة معاوقة تلقائية عالية الأداء مصممة لأنظمة أشباه الموصلات وأنظمة البلازما الصناعية. تقوم بشكل ديناميكي بمواءمة معاوقة خرج 50Ω لمولدات RF مع معاوقة الأحمال المتغيرة في غرف البلازما، وأجهزة الحفر (etchers)، وPECVD، وأدوات الرش (sputtering)، مما يقلل القدرة المنعكسة ويزيد كفاءة نقل الطاقة إلى الحد الأقصى. تتميز بسرعة الضبط، والحماية القوية، والتصميمات المدمجة القابلة للتركيب في الرفوف، وتضمن إشعال بلازما مستقرًا، وأداء عملية متسقًا، وموثوقية إنتاج 24/7. متوفرة بحالات جديدة، مجددة، ومستعملة تم اختبارها بالكامل.
المواصفات الرئيسية:
- مطابقة المعاوقة التلقائية: ضبط فوري لمواءمة خرج مولد 50Ω مع معاوقة حمل البلازما المتغيرة؛ يقلل القدرة المنعكسة (عادةً
- سرعة الضبط السريع: استجابة عالية السرعة (
- تغطية تردد وطاقة واسعة: يدعم 13.56MHz (قياسي)، 27.12MHz، 40.68MHz؛ تصنيفات طاقة من 300W إلى 10kW
- بنية قوية: هيكل معدني شديد التحمل مع تدريع EMI/RFI؛ تبريد هوائي قياسي (خيار تبريد مائي للطرازات عالية القدرة)
- مكونات دقيقة: مكثفات متغيرة عالية الجودة، ومحاثات، ومحركات خطوية لعمر دورة طويل (أكثر من 1,000,000 دورة)
التطبيقات:
- تصنيع أشباه الموصلات: الحفر RIE/ICP، الترسيب PECVD/LPCVD، إزالة البلازما (plasma ashing)، تنظيف الرقائق، أنظمة قفل التحميل (load lock systems)
- طلاء الفراغ: الرش (sputtering)، التبخير (evaporation)، ترسيب الأغشية الرقيقة PVD/CVD للبصريات، والشاشات، والخلايا الشمسية
- معالجة البلازما الصناعية: تنشيط الأسطح، التنظيف، الحفر، والطلاء للمعادن والبلاستيك والسيراميك
- البحث والتطوير: مختبرات الجامعات، والمؤسسات البحثية، وخطوط الإنتاج التجريبية التي تتطلب توصيل بلازما RF مستقرة
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما الضمان؟
الجواب: منتجات أصلية جديدة بالكامل. ضمان لمدة سنة واحدة مشمول.
س2: ما هي شروط الدفع؟
الجواب: مدعوم T/T، Paypal.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ هل يوجد مخزون كافٍ؟
الجواب: الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
الجواب: متوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
الجواب: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.