الوصف:
مقاييس الضغط السعوي MKS Baratron هي محولات ضغط/فراغ مطلق عالية الدقة ومتميزة، وتُعد المعيار الصناعي لمعدات عمليات الفراغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار الغشاء السعوي الحاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقًا بتركيب غاز العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكم ضغط حلقي مغلق فائق الاستقرار لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة توصيل الغاز، مما يضمن دقة فراغ ثابتة داخل الحجرة ويحسن إنتاجية التصنيع لأشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الدرجة الأولى تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة تفصيلية فائقة تبلغ 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، واستقرار ممتاز على المدى الطويل وانحراف طفيف جدًا لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمةMKS.
- يعتمد الغشاء والأجزاء الملامسة للوسط على سبيكة النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، مما يوفر مقاومة للغازات التفاعلية المسببة للتآكل في العمليات الخاصة. يتم اختبار التسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان تشغيل آمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاقًا من الفراغ فائق الدقة إلى الضغط العالي: 0.1 ملي تور ~ 3000 PSIA. النماذج المُسخنة (45℃ / 100℃ اختيارية) تمنع بفعالية تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات تصنيع أشباه الموصلات: AMAT Centura/Endura، وأنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في الفراغ لترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما وزرع الأيونات
- خزانة غاز MFC، نظام ضخ الفراغ، كشف التسرب وتعشيق أمان الضغط
- الطاقة الشمسية الكهروضوئية، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالفراغ، واختبارات الفراغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما حالة المنتج وما نوع الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة مشمول.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: التحويل البنكي (T/T)، وPayPal مدعومان.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل تتوفر مخزونات كافية؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: متوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والتغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.