الوصف:
تُعد مقاييس الضغط السعوية MKS Baratron محولات ضغط/تفريغ مطلق عالية الدقة من الفئة الممتازة، وهي المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقًا بتركيب غازات العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكمًا مستقرًا للغاية في الضغط بنظام حلقة مغلقة لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة إمداد الغاز، مما يضمن دقة تفريغ الحجرة بشكل ثابت ويحسن عائد الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الدرجة الأولى تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة فائقة تصل إلى 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، مع ثبات ممتاز على المدى الطويل وانحراف طفيف جدًا لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمة MKS.
- يستخدم الغشاء والأجزاء الملامسة للوسط سبائك النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، مما يوفر مقاومة للغازات التخصصية المسببة للتآكل في العمليات. يتم اختبار التسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان تشغيل آمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاقًا من التفريغ الدقيق جدًا إلى الضغط العالي: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. النماذج المُسخّنة (45℃ / 100℃ اختياري) تمنع بشكل فعال تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات تصنيع أشباه الموصلات: AMAT Centura/Endura، أنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في التفريغ لترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانة غاز MFC، نظام ضخ التفريغ، كشف التسرب، وقفل الأمان للضغط
- الخلايا الشمسية (PV)، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
ج: الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.