الوصف:
تُعد مقاييس الضغط السعوية MKS Baratron من أجهزة قياس التفريغ/الضغط المطلق عالية الدقة والفائقة الجودة، وهي المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقًا بتركيب غاز العملية. تُستخدم على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكمًا فائق الاستقرار في الضغط بنظام الحلقة المغلقة لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة إمداد الغاز، مما يضمن دقة فراغ ثابتة داخل الحجرة ويحسن عائد الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الفئة العليا تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة فائقة تصل إلى 0.01% من المدى الكامل، مع استقرار طويل الأمد ممتاز وانجراف طفيف جدًا لتلبية المتطلبات الصارمة لعمليات أشباه الموصلات MKS.
- تُصنع الأجزاء الغشائية والأجزاء الملامسة للسوائل من سبيكة نيكل Inconel® / Incoloy® أو من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، مما يجعلها مقاومة للغازات الكيميائية التفاعلية الخاصة بالعمليات. يتم اختبارها ضد التسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان التشغيل الآمن في بيئات البلازما القاسية.
- تغطي نطاقًا من التفريغ الفائق الدقة إلى الضغط العالي: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. النماذج المُسخّنة (45℃ / 100℃ اختياري) تمنع بفعالية تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات مصانع أشباه الموصلات: أنظمة AMAT Centura/Endura، وأنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في الفراغ لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانات غاز MFC، وأنظمة ضخ التفريغ، وكشف التسرب، وأنظمة قفل أمان الضغط
- الخلايا الشمسية، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يُدعم T/T وPaypal.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل توجد كمية كافية في المخزون؟
ج: الموديلات القياسية متوفرة في المخزون ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الموديلات النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدة.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة الأصلية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.