الوصف:
تُعد مقاييس الضغط السعوية MKS Baratron أجهزة قياس تفاضل/ضغط مطلق عالية الدقة وذات جودة فائقة، وهي المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقًا بتركيب غازات العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكمًا حلقيًا مغلقًا فائق الاستقرار في الضغط لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة توصيل الغاز، مما يضمن دقة تفريغ ثابتة داخل الحجرة ويحسن عائد الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الدرجة الأولى تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة عالية جدًا تبلغ 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، واستقرار طويل الأمد ممتاز وانحراف ضئيل للغاية لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمة MKS.
- تعتمد الأجزاء الغشائية والأجزاء الملامسة للوسط على سبائك النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، ومقاومة للغازات الخاصة المسببة للتآكل. يتم اختبار تسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان التشغيل الآمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاقًا من الفراغ الدقيق جدًا إلى الضغط العالي: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. الطرازات المُسخنة (45℃ / 100℃ اختيارية) تمنع بشكل فعال تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات مصانع أشباه الموصلات: أنظمة AMAT Centura/Endura، وأنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في التفريغ لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانة غازات MFC، ونظام ضخ التفريغ، وكشف التسرب، وتعشيق أمان الضغط
- الخلايا الشمسية، وطلاءات LED، ومعالجة التفريغ الدوائي، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما نوع الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T، وPaypal مدعومان.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل تتوفر كميات كافية في المخزون؟
النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
متوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.