الوصف:
تُعد مقاييس الضغط السعوية MKS Baratron أجهزة قياس تفاضلي/ضغط مطلق عالية الدقة ومتميزة، وهي المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقًا بتركيب غاز العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكمًا مغلق الحلقة فائق الاستقرار في الضغط لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة توصيل الغاز، مما يضمن دقة تفريغ ثابتة في الحجرة ويحسن عائد الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الدرجة الأولى تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة فائقة تصل إلى 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، مع استقرار ممتاز على المدى الطويل وانحراف طفيف جدًا لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمةMKS.
- تعتمد الأجزاء الغشائية والأجزاء الملامسة للوسط على سبيكة النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، ومقاومة للغازات الخاصة المسببة للتآكل. يتم اختبارها بنسبة 100% ضد التسرب قبل التسليم لضمان التشغيل الآمن في البيئات البلازمية القاسية.
- يغطي نطاقًا من الفراغ فائق الدقة إلى الضغط العالي: من 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. النماذج المُسخّنة (اختياري 45℃ / 100℃) تمنع بشكل فعال تكاثف الوسائط المتطايرة أثناء العملية لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات مصانع أشباه الموصلات: أنظمة AMAT Centura/Endura، وأنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في التفريغ لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانة غاز MFC، نظام ضخ التفريغ، كشف التسرب، وقفل الأمان الخاص بالضغط
- الخلايا الشمسية (Solar PV)، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانة؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. تشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع الخاصة بكم؟
ج: يتم قبول T/T وPaypal.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدة الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر خدمات DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. يتم مراقبة العملية بالكامل من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
ج: تغليف أصلي للعلامة التجارية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.