الوصف:
MKS RF Matchers (المعروفة أيضًا باسم RF matching boxes/networks) هي أجهزة مطابقة معاوقة تلقائية عالية الأداء مصممة لأنظمة أشباه الموصلات وأنظمة البلازما الصناعية. تقوم بمطابقة معاوقة الخرج 50Ω لمولدات RF بشكل ديناميكي مع معاوقة متغيرة لغرف البلازما، وأجهزة الحفر (etchers)، وPECVD، وأدوات الرش (sputtering)، مما يقلل القدرة المنعكسة ويزيد كفاءة نقل القدرة إلى الحد الأقصى. تتميز بسرعة الضبط، والتدريع القوي، وتصميمات مدمجة قابلة للتركيب في الرفوف (rack-mount)، مما يضمن اشتعال بلازما مستقرًا، وأداء عملية ثابتًا، وموثوقية إنتاج 24/7. متاحة بحالات جديدة، مجددة، ومستعملة تم اختبارها بالكامل.
المواصفات الرئيسية:
- مطابقة المعاوقة التلقائية: ضبط في الوقت الفعلي لمطابقة خرج المولد 50Ω مع معاوقة حمل البلازما المتغيرة؛ يقلل القدرة المنعكسة (عادةً
- سرعة ضبط سريعة: استجابة عالية السرعة (أقل من 1 ثانية لمعظم الطرازات) لاشتعال البلازما السريع واستعادة التغيرات اللحظية للحمل.
- تغطية واسعة للتردد والقدرة: يدعم 13.56MHz (قياسي)، 27.12MHz، 40.68MHz؛ قدرات من 300W إلى 10kW
- تصميم متين: هيكل معدني شديد التحمل مع تدريع EMI/RFI؛ تبريد هوائي قياسي (وخيار تبريد مائي للطرازات عالية القدرة)
- مكونات دقيقة: مكثفات متغيرة عالية الجودة، ومحاثات، ومحركات خطوة لضمان عمر دورة طويل (أكثر من 1,000,000 دورة)
التطبيقات:
- تصنيع أشباه الموصلات: الحفر RIE/ICP، الترسيب PECVD/LPCVD، إزالة الكربون بالبلازما (plasma ashing)، تنظيف الرقائق (wafer)، أنظمة قفل التحميل (load lock)
- الطلاء بالفراغ: الرش (sputtering)، التبخير (evaporation)، ترسيب الأغشية الرقيقة PVD/CVD للبصريات، الشاشات، والخلايا الشمسية
- معالجة البلازما الصناعية: تنشيط السطح، التنظيف، الحفر، والطلاء للمعادن، البلاستيك، والسيراميك
- البحث والتطوير: مختبرات الجامعات، المؤسسات البحثية، وخطوط الإنتاج التجريبية التي تتطلب توصيل بلازما RF مستقر
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة بالكامل. ضمان لمدة سنة واحدة متضمن.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
ج: T/T، Paypal مدعوم.
س3: ما مدة التسليم للمنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: متاح DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.