الوصف:
مقاييس الضغط السعوية MKS Baratron هي محولات قياس تفريغ/ضغط مطلق عالية الدقة من الفئة الممتازة، وهي المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقاً بتركيب غاز العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكماً حلقيّاً مغلقاً شديد الاستقرار في الضغط لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة توصيل الغاز، مما يضمن دقة تفريغ ثابتة داخل الحجرة ويحسن عائد الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الدرجة الأولى تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة تمييز فائقة تبلغ 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، واستقرار ممتاز على المدى الطويل وانحراف طفيف جداً لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمة MKS.
- يتم تصنيع الغشاء والأجزاء الملامسة للوسط من سبائك النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، ما يمنح مقاومة للغازات العملية المتخصصة المسببة للتآكل. يتم اختبار التسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان تشغيل آمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاقاً من التفريغ فائق الدقة إلى الضغط العالي: 0.1 ملي تور ~ 3000 PSIA. النماذج المُسخّنة (45℃ / 100℃ اختيارية) تمنع بفعالية تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات مصانع أشباه الموصلات: AMAT Centura/Endura، وأنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في التفريغ لترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانة غاز MFC، نظام ضخ التفريغ، كشف التسرب وقفل الأمان للضغط
- الخلايا الشمسية، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة كلياً. ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: التحويل البنكي (T/T)، وPayPal مدعومان.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل تتوفر مخزونات كافية؟
ج: الموديلات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الموديلات النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.