الوصف:
مطابقات MKS RF (وتُسمى أيضًا صناديق/شبكات مطابقة RF) هي أجهزة مطابقة معاوقة تلقائية عالية الأداء مصممة لأنظمة أشباه الموصلات والبلازما الصناعية. تقوم ديناميكيًا بمواءمة معاوقة الخرج 50Ω لمولدات RF مع المعاوقة المتغيرة لغرف البلازما، وأجهزة الحفر (etchers)، وPECVD، وأدوات الرش (sputtering)، مما يقلل القدرة المنعكسة ويزيد كفاءة نقل الطاقة إلى الحد الأقصى. بفضل الضبط السريع، والتدريع القوي، وتصاميم الرفوف المدمجة (rack-mount)، تضمن إشعال بلازما مستقرًا، وأداء عملية متسقًا، وموثوقية إنتاج على مدار 24/7. متوفرة بحالات جديدة، ومجددة، ومستعملة ومختبرة بالكامل.
المواصفات الرئيسية:
- مطابقة المعاوقة التلقائية: ضبط في الوقت الفعلي لمواءمة خرج المولد 50Ω مع معاوقة حمل البلازما المتغيرة؛ يقلل القدرة المنعكسة (عادة
- سرعة ضبط عالية: استجابة عالية السرعة (
- تغطية واسعة للتردد والطاقة: يدعم 13.56MHz (قياسي)، 27.12MHz، 40.68MHz؛ تصنيفات قدرة من 300W إلى 10kW
- تصميم متين: هيكل معدني شديد التحمل مع تدريع EMI/RFI؛ تبريد هوائي قياسي (خيار تبريد مائي للنماذج عالية القدرة)
- مكونات دقيقة: مكثفات ومحاثات ومحركات خطوة عالية الجودة لعمر دورة طويل (أكثر من 1,000,000 دورة)
التطبيقات:
- تصنيع أشباه الموصلات: حفر RIE/ICP، ترسيب PECVD/LPCVD، إزالة البلازما (plasma ashing)، تنظيف الرقائق، أنظمة قفل التحميل (load lock)
- الطلاء بالتفريغ: الرش (sputtering)، التبخير، ترسيب الأغشية الرقيقة PVD/CVD للبصريات والشاشات والخلايا الشمسية
- معالجة البلازما الصناعية: تنشيط السطح، التنظيف، الحفر، والطلاء للمعادن والبلاستيك والسيراميك
- البحث والتطوير: مختبرات الجامعات، المؤسسات البحثية، وخطوط الإنتاج التجريبية التي تتطلب توصيل RF بلازما مستقر
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة متضمن.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T، PayPal مدعوم.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من المصنع—تواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدد الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.