الوصف:
أجهزة MKS RF Matchers (المعروفة أيضًا باسم صناديق/شبكات المطابقة RF) هي أجهزة مطابقة ممانعة تلقائية عالية الأداء مصممة لأنظمة البلازما في أشباه الموصلات والتطبيقات الصناعية. تقوم ديناميكيًا بمواءمة ممانعة خرج 50Ω لمولدات RF مع الممانعة المتغيرة لغرف البلازما، وأجهزة الحفر (etchers)، وPECVD، وأدوات الرش (sputtering)، مما يقلل القدرة المنعكسة ويزيد كفاءة نقل الطاقة. تتميز بضبط سريع، وتدريع قوي ضد التداخل، وتصميم مدمج للتركيب على الرفوف، مما يضمن اشتعال بلازما مستقرًا، وأداء عملية متسقًا، وموثوقية إنتاج على مدار 24/7. متوفرة بحالات جديدة، مُجددة، ومستعملة تم اختبارها بالكامل.
المواصفات الرئيسية:
- مطابقة الممانعة التلقائية: ضبط فوري في الوقت الحقيقي لمطابقة خرج المولد 50Ω مع ممانعة حمل البلازما المتغيرة؛ يقلل القدرة المنعكسة (عادة
- سرعة الضبط السريع: استجابة عالية السرعة (
- تغطية واسعة للتردد والطاقة: يدعم 13.56MHz(standard), 27.12MHz, 40.68MHz؛ تصنيفات قدرة من 300W إلى 10kW
- تصميم متين: هيكل معدني شديد التحمل مع تدريع EMI/RFI؛ تبريد هوائي قياسي (خيار تبريد مائي للنماذج عالية القدرة)
- مكونات عالية الدقة: مكثفات متغيرة عالية الجودة، ومحاثات، ومحركات خطوة لعمر دورة طويل (1,000,000+ cycles)
التطبيقات:
- تصنيع أشباه الموصلات: حفر RIE/ICP، ترسيب PECVD/LPCVD، حرق البلازما (plasma ashing)، تنظيف الرقائق (wafer cleaning)، أنظمة قفل التحميل
- الطلاء بالفراغ: الرش (sputtering)، التبخير، ترسيب الأغشية الرقيقة PVD/CVD للبصريات، الشاشات، والخلايا الشمسية
- المعالجة بالبلازما الصناعية: تنشيط السطح، التنظيف، الحفر، والطلاء للمعادن، البلاستيك، والسيراميك
- البحث والتطوير: مختبرات الجامعات، المؤسسات البحثية، وخطوط الإنتاج التجريبية التي تتطلب توصيل بلازما RF مستقر
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة بالكامل. ضمان لمدة 1 سنة متضمن.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T, Paypal مدعومان.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ هل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 business days بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: DHL/FedEx/UPS متاحة. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
ج: التغليف الأصلي للعلامة التجارية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية لمعدات دقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.