الوصف:
مقاييس الضغط بالسعة MKS Baratron هي محولات ضغط/فراغ مطلقة عالية الدقة من الدرجة الممتازة، المعيار الصناعي لمعدات معالجة الفراغ في أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار الحجاب الحاجز بالسعة الحاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، دون تأثر بمكونات الغاز المعالج. متوافقة على نطاق واسع مع منصات تصنيع الرقائق AMAT وLAM Research والمنصات الرئيسية الأخرى، وتوفر تحكم ضغط مغلق عالي الاستقرار لعمليات النقش والتبخير الكيميائي بالبخار (CVD) والتبخير الفيزيائي (PVD) وترسيب الذرات (ALD) وأنظمة توصيل الغاز، مما يضمن دقة فراغ الغرفة بشكل ثابت ويحسن العائد الإنتاجي لتصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الطراز الأول تصل إلى ±0.25٪ من القراءة، دقة فائقة تبلغ 0.01٪ من المقياس الكامل، استقرار طويل الأمد ممتاز وانحراف ضئيل لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمة.
- يعتمد الحجاب الحاجز والأجزاء المبتلة على سبائك النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L بهيكل ملحوم بالكامل، مقاوم لغازات العمليات التخصصية المسببة للتآكل. تم اختبار جميع الوحدات ضد التسرب 100٪ قبل التسليم لضمان التشغيل الآمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاق فراغ دقيق جدًا حتى الضغط العالي: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. النماذج المسخنة (45℃ / 100℃ اختيارية) تمنع بفعالية تكاثف وسائط العمليات المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات تصنيع أشباه الموصلات: أنظمة النقش AMAT Centura/Endura وLAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق بالفراغ لترسيب الأغشية الرقيقة، النقش بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزان غاز MFC، نظام الضخ الفراغي، كشف التسرب ووصلة الأمان للضغط
- الطاقة الشمسية الكهروضوئية، تغليف LED، معالجة فراغية للأدوية، واختبارات فراغية عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما حالة المنتج ومدة الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة. يشمل الضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما شروط الدفع لديكم؟
ج: التحويل البنكي T/T وPaypal مدعومان.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، يتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلب من المصنع — اتصل بخدمة العملاء لمعرفة الجدول الزمني.
س4: الشحن وتتبع الطلب
ج: الشحن عبر DHL/FedEx/UPS متاح. يتم توفير رقم تتبع ورابط بعد الشحن. تتم مراقبة العملية بالكامل من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلية مع حماية معززة (رغوة، صناديق مختومة، صناديق خشبية للأدوات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.