الوصف:
مقاييس الضغط السعوي MKS Baratron هي محولات ضغط/تفريغ مطلق عالية الدقة من الفئة الممتازة، وتُعد المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقاً بتركيب غاز العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكماً مغلق الحلقة شديد الاستقرار في الضغط لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة إمداد الغاز، مما يضمن دقة تفريغ الحجرة بشكل ثابت ويحسن مردود الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الفئة العليا تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة تفصيلية فائقة 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، واستقرار ممتاز على المدى الطويل وانحراف طفيف للغاية لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمةMKS.
- يتم تصنيع الغشاء والأجزاء الملامسة للسوائل من سبيكة النيكل Inconel® / Incoloy® أو من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، مما يوفر مقاومة للغازات التفاعلية المسببة للتآكل في العمليات الخاصة. يتم اختبار التسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان تشغيل آمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاقاً من التفريغ فائق الدقة إلى الضغط العالي: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. النماذج المزودة بالتسخين (اختياري 45℃ / 100℃) تمنع بشكل فعال تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات تصنيع أشباه الموصلات: أنظمة الحفر AMAT Centura/Endura، وLAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في التفريغ لترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانة غاز MFC، نظام ضخ التفريغ، كشف التسرب، وقفل الأمان للضغط
- الطاقة الشمسية الكهروضوئية، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تماماً. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: التحويل البنكي (T/T)، وPaypal مدعومان.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المواعيد.
س4: الشحن والتتبع
ج: متوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، وصناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.