الوصف:
مقاييس الضغط السعوية MKS Baratron هي محولات ضغط/تفريغ مطلق عالية الدقة ومتميزة، وهي المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في تصنيع أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار بغشاء سعوي مسجلة ببراءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز وغير متأثرة تمامًا بتركيب غاز العملية. تُستخدم على نطاق واسع مع منصات تصنيع الرقائق الرئيسية مثل AMAT وLAM Research، وتوفر تحكم ضغط حلقي مغلق فائق الاستقرار لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة إمداد الغاز، مما يضمن دقة تفريغ ثابتة داخل الحجرة ويحسن عائد الإنتاج في تصنيع أشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة عالية تصل إلى ±0.25% من القراءة، دقة تمييز فائقة تبلغ 0.01% من المدى الكامل، استقرار طويل الأمد وانحراف طفيف لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمة MKS.
- تستخدم الحجاب الحاجز والأجزاء الملامسة للسوائل سبيكة النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، ومقاومة للغازات الخاصة المسببة للتآكل. يتم اختبارها بنسبة 100% ضد التسرب قبل التسليم لضمان تشغيل آمن في البيئات البلازمية القاسية.
- يغطي نطاقًا من التفريغ فائق الدقة إلى الضغط العالي: 0.1 ملي تور ~ 3000 PSIA. النماذج المسخنة (45℃ / 100℃ اختيارية) تمنع بشكل فعال تكاثف الوسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات مصانع أشباه الموصلات: أنظمة الحفر AMAT Centura/Endura، LAM Kiyo/2300
- تحكم دقيق في التفريغ لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة والحفر بالبلازما وزرع الأيونات
- خزان غاز MFC، أنظمة ضخ التفريغ، كشف التسرب، وقفل أمان الضغط
- الطاقة الشمسية الكهروضوئية، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. تشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: التحويل البنكي (T/T)، وPaypal مدعومان.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ هل هناك مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدة الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: متاح DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط التتبع بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف أصلي للعلامة التجارية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.