الوصف:
أجهزة قياس الضغط السعوي MKS Baratron هي محولات ضغط/تفريغ مطلق عالية الدقة ومتميزة، وتُعد المعيار الصناعي لمعدات عمليات التفريغ في صناعة أشباه الموصلات. تعتمد على تقنية استشعار غشاء سعوي حاصلة على براءة اختراع، وتوفر قراءة ضغط مستقلة عن نوع الغاز، وغير متأثرة إطلاقًا بتركيب غاز العملية. تتوافق على نطاق واسع مع AMAT وLAM Research ومنصات تصنيع الرقائق الرئيسية، وتوفر تحكمًا فائق الاستقرار في حلقة مغلقة بالضغط لعمليات الحفر (etching) وCVD وPVD وALD وأنظمة توصيل الغاز، مما يضمن دقة تفريغ ثابتة داخل الحجرة ويحسن إنتاجية التصنيع لأشباه الموصلات.
المواصفات الرئيسية:
- دقة من الدرجة الأولى تصل إلى ±0.25% من القراءة، ودقة تفصيلية فائقة تبلغ 0.01% من المدى الكامل (Full Scale)، وثبات ممتاز على المدى الطويل وانجراف طفيف جدًا لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الصارمةMKS.
- يتم تصنيع الغشاء والأجزاء الملامسة للوسط من سبيكة النيكل Inconel® / Incoloy® أو الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مع هيكل ملحوم بالكامل، ومقاومة للغازات التفاعلية المسببة للتآكل في العمليات الخاصة. يتم اختبار التسرب بنسبة 100% قبل التسليم لضمان التشغيل الآمن في بيئات البلازما القاسية.
- يغطي نطاقًا من التفريغ فائق الدقة إلى الضغط العالي: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. النماذج المزودة بالتسخين (45℃ / 100℃ اختياري) تمنع بشكل فعال تكاثف وسائط العملية المتطايرة لتجنب انحراف القياس.
التطبيقات:
- معدات تصنيع أشباه الموصلات: AMAT Centura/Endura، وأنظمة الحفر LAM Kiyo/2300
- التحكم الدقيق في التفريغ لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر بالبلازما، وزرع الأيونات
- خزانة غاز MFC، نظام ضخ التفريغ، كشف التسرب، ونظام تعشيق الأمان للضغط
- الخلايا الشمسية (Solar PV)، طلاء LED، المعالجة الدوائية بالتفريغ، واختبارات التفريغ عالية الدقة في المختبرات
الأسئلة الشائعة:
س1:ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
ج: T/T، Paypal مدعوم.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل تتوفر كمية كافية من المخزون؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المواعيد.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والتغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.