الوصف:
مطيافات الألياف البصرية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة في معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُقترن بشكل أساسي بوحدات بصرية احترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف البصرية لالتقاط انبعاثات البلازما وانعكاساتها وطيف النفاذ داخل غرف المعالجة. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، وتضمن هذه الوحدات أداء عملية مستقرًا، وتحسن إنتاجية التصنيع وتقلل من المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM أصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات عمليات LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مجهزة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي والمرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف SMA القياسية نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بثبات في البيئات عالية الفراغ ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي تحديد دقيق لنقطة نهاية الحفر، وقياس سمك الأغشية الرقيقة وخصائصها البصرية، مما يمنع بفعالية الحفر الزائد أو الناقص.
- مجهزة بمنافذ اتصال Ethernet وRS-232 مدمجة، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتمكين تبادل بيانات سلس وربط النظام.
- هيكل مدمج ومتينا مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 واستبدالًا سهلاً في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة نهاية عمليات حفر الرقاقات
- قياس سمك وانعكاسية الأغشية الرقيقة في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف العمليات الفراغية
- منصات عمليات LAM Research 2300 و9400 وExAL وغيرها من المنصات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة كليًا. تشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
A: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
A: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
A: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.