الوصف:
تُعد مطيافات الألياف البصرية من LAM Research أجهزة مراقبة ضوئية عالية الدقة مدمجة ضمن معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم بشكل أساسي مع الوحدات الضوئية الاحترافية، وتعتمد على تصميم نقل عبر الألياف البصرية لالتقاط انبعاثات البلازما واطياف الانعكاس والنفاذ داخل غرف المعالجة. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، مما يضمن استقرار أداء العملية، ويحسن عائد الإنتاج ويقلل من المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM الأصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات المعالجة من سلسلة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي والمرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف SMA القياسية نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات الفراغ العالي والحرارة العالية والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي حكمًا دقيقًا لنقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يمنع بشكل فعال الإفراط أو النقص في الحفر.
- مزودة بمنافذ اتصال Ethernet وRS-232 مدمجة، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل البيانات بسلاسة وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 وسهولة الاستبدال في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة وانعكاسية الأغشية الرقيقة في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي داخل غرف العمليات الفراغية
- LAM Research 2300، 9400، ExAL وغيرها من منصات العمليات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يتم قبول T/T و Paypal.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل توجد مخزونات كافية؟
ج: الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من المصنع—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدة.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة من فريقنا للعملية.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة الأصلية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.