الوصف:
تُعد مقاييس الطيف بالألياف الضوئية من LAM Research أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة ضمن معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. يتم إقرانها بشكل أساسي مع وحدات بصرية احترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما وقياسات الانعكاس والانتقال الطيفي داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الفعلي، مما يضمن استقرار أداء العملية، ويحسن مردود الإنتاج ويقلل من المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM الأصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات العمليات من سلسلة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، مما يوفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي من الأشعة فوق البنفسجية إلى المرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارة لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة العالية والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الفعلي الحكم الدقيق على نقطة نهاية الحفر، وقياس سمك الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الحفر الزائد أو الناقص.
- مجهزة بمنافذ اتصال مدمجة Ethernet وRS-232، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل البيانات بسلاسة وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع وسهولة الاستبدال في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة حفر البلازما، معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة نهاية عمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة وانعكاسية الأغشية الرقيقة داخل الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الفعلي داخل غرف العمليات الفراغية
- LAM Research 2300، 9400، ExAL وغيرها من منصات العمليات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانة؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. تشمل ضمانة لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يُدعم T/T، Paypal.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والتغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة الأصلية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.