الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة في معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم بشكل أساسي مع الوحدات البصرية الاحترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاثات البلازما وانعكاسها وأطياف النفاذ داخل غرف المعالجة. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، حيث تضمن هذه الوحدات استقرار أداء العملية، وتحسين إنتاجية التصنيع وتقليل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM الأصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع أدوات معالجة سلسلة LAM الكاملة.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، مما يوفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الأطوال الموجية UV-Visible لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي الحكم الدقيق على نقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يمنع بشكل فعال الحفر الزائد أو الناقص.
- مزودة بمنافذ اتصال مدمجة Ethernet و RS-232، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتمكين تبادل البيانات والتكامل بين الأنظمة بسلاسة.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. تدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 واستبدالاً سهلاً في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة نهاية عمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي داخل غرف المعالجة الفراغية
- LAM Research 2300، 9400، ExAL وغيرها من منصات المعالجة الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانة؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. تشمل ضمانة لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
ج: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل تتوفر كمية كافية في المخزون؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.