الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة ضمن معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم بشكل أساسي مع الوحدات البصرية الاحترافية، وتعتمد على تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما وطيف الانعكاس والنفاذ داخل غرف المعالجة. تُستخدم على نطاق واسع لاكتشاف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، حيث تضمن هذه الوحدات استقرار أداء العملية، وتحسن إنتاجية التصنيع وتقلل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع بالتفريغ. وباعتبارها مكونات أصلية متوافقة مع OEM، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات معالجة سلسلة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، مما يوفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي–المرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارة لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بثبات في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي تحديدًا دقيقًا لنقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الحفر الزائد أو الناقص.
- مزودة بمنافذ اتصال Ethernet و RS-232 مدمجة، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل البيانات بسلاسة وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 واستبدالًا سهلاً في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- الكشف عن نقطة نهاية عمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات التفريغ
- LAM Research 2300 و9400 وExAL وغيرها من منصات المعالجة الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمان؟
A: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
A: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل توجد كمية كافية من المخزون؟
A: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من المصنع—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
A: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + الرابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
A: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.