الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة لمعدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم بشكل أساسي مع الوحدات البصرية الاحترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما وانعكاسها وأطياف النفاذية داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، حيث تضمن هذه الوحدات أداء عملية مستقرًا، وتحسن مردود الإنتاج، وتقلل من المنتجات المعيبة في عمليات الحفر، وCVD، وPVD، وغيرها من عمليات التصنيع بالفراغ. وباعتبارها مكونات متوافقة أصلية من نوع OEM، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات المعالجة من سلسلة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية متميزة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي والمرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بثبات في بيئات الفراغ العالي، ودرجات الحرارة المرتفعة، والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي تحديدًا دقيقًا لنقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخواص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الإفراط في الحفر أو نقص الحفر.
- مزودة بمنافذ اتصال مدمجة Ethernet وRS-232، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتمكين تبادل البيانات السلس وربط النظام.
- هيكل مدمج ومتين مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 وسهولة الاستبدال الميداني.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات التفريغ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL وغيرها من منصات العمليات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
أ: منتجات أصلية جديدة تماماً. ضمان لمدة سنة واحدة مشمول.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
أ: مدعوم T/T، Paypal.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
أ: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
أ: متوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
أ: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.