الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة لمعدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُقترن بشكل أساسي بوحدات بصرية احترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاثات البلازما وطيف الانعكاس والانتقال داخل غرف المعالجة. تُستخدم على نطاق واسع لاكتشاف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، مما يضمن استقرار أداء العمليات، ويحسن مردود الإنتاج ويقلل من المنتجات المعيبة في عمليات الحفر و CVD و PVD وغيرها من عمليات التصنيع بالفراغ. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM الأصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات المعالجة من سلسلة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي–المرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- واجهات ألياف SMA القياسية تدعم نقل الإشارة لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي تحديد نقطة نهاية الحفر بدقة، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الإفراط في الحفر أو نقص الحفر.
- منافذ اتصال مدمجة Ethernet و RS-232، متوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل بيانات سلس وربط النظام.
- هيكل مدمج ومتین مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتشويش. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 واستبدالًا سهلاً في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD و PVD و ALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات الفراغ
- LAM Research 2300, 9400, ExAL وغيرها من منصات العمليات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما حالة المنتج وما هو الضمان؟
أ: منتجات أصلية جديدة تمامًا. تشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
أ: T/T و Paypal مدعومان.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل توجد مخزونات كافية؟
أ: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
أ: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
أ: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.