الوصف:
أجهزة قياس الطيف بالألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة ضمن معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُقرن أساسًا بوحدات بصرية احترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما وانعكاسه وأطياف النفاذ داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع لاكتشاف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، وتضمن هذه الوحدات استقرار أداء العملية، وتحسن إنتاجية التصنيع وتقلل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة أصلية من نوع OEM، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع أدوات العمليات الكاملة من LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، مما يوفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الأطوال الموجية فوق البنفسجية والمرئية لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي الحكم الدقيق على نقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخواص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الإفراط في الحفر أو نقصه.
- منافذ اتصال Ethernet و RS-232 مدمجة، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل بيانات سلس وربط النظام.
- تصميم مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 وسهولة الاستبدال في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات الفراغ
- منصات العمليات الرئيسية مثل LAM Research 2300 و9400 وExAL وغيرها
الأسئلة الشائعة:
س1:ما حالة المنتج وما الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة كليًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T وPaypal مدعومان.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.