الوصف:
لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research هي مكوّن أساسي لإدارة الحرارة في أنظمة حفر وترسيب ومعالجة الرقائق شبه الموصلة. توفر تنظيمًا عالي الدقة ومتعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف المعالجة، ومشابك الشحن الكهروستاتيكية (ESCs)، ومراحل الرقائق. صُممت للعمل على مدار 24/7 في بيئات ذات تفريغ عالٍ، ودرجات حرارة مرتفعة، وبلازما، وتضمن درجة حرارة ثابتة للرقائق، وتثبت وصفات العمليات، وتعزز إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقًا مباشرًا (plug-and-play)، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات العقد المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميعة لوحة دوائر مطبوعة (PCB) أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع أنظمة الحفر Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. تمت معايرتها واختبارها في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ يحقق ثباتًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C عبر خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة فورية من الحساسات بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ وتعويض انحراف البيئة وتأخر المستشعر.
- مصنّف للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي من التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، مقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخلات الترددات الراديوية (RF).
- تصميم معياري قابل للاستبدال أثناء التشغيل (hot-swappable) للاستبدال السريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة، وصحة الحساسات، وتسجيل الأعطال؛ يقلل التوقف غير المخطط له.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة الرقائق 200mm / 300mm ومشابك ESCs
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (عُقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات، وقطع الغيار والتحديثات
الأسئلة الشائعة:
Q1:ما هي حالة المنتج وما هي الضمانة؟
A:منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
Q2:ما هي شروط الدفع؟
A:الدفع عبر T/T و Paypal مدعوم.
Q3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ هل يوجد مخزون كافٍ؟
A:الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
Q4:الشحن والتتبع
A:DHL/FedEx/UPS متاحة. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
Q5:التعبئة والسلامة
A:تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.