الوصف:
لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research هي مكوّن أساسي لإدارة الحرارة في أنظمة حفر وترسيب ومعالجة رقائق أشباه الموصلات. توفر تنظيمًا عالي الدقة ومتعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)، ومراحل الرقاقة. صُممت للعمل على مدار 24/7 في بيئات التفريغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما، وتضمن ثبات درجة حرارة الرقاقة، وتثبيت وصفات العمليات، وزيادة إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقًا مباشرًا (plug-and-play)، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات التقنيات المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميع لوحة PCB أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع أجهزة الحفر Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. مُعايرة ومختبرة في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ يحقق ثباتًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C باستخدام خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم مغلق الحلقة للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة لحظية من الحساسات بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ وتعويض الانجراف البيئي وتأخر المستشعر.
- مصنّف للعمل في التفريغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي من التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، مقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخلات الترددات الراديوية.
- تصميم معياري قابل للتبديل الساخن للاستبدال السريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة وصحة الحساس وتسجيل الأعطال؛ يقلل من التوقف غير المخطط له.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة رقائق 200mm / 300mm والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (عقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات وقطع الغيار والترقيات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما حالة المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة كليًا. تشمل ضمانًا لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: التحويل البنكي (T/T)، وPaypal مدعومان.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل توجد كمية كافية في المخزون؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: DHL/FedEx/UPS متاحة. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، وصناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.