الوصف:
لوحة التحكم في درجة حرارة Lam Research هي مكوّن أساسي لإدارة الحرارة في أنظمة حفر وترسيب ومعالجة رقائق أشباه الموصلات. توفر تنظيمًا عالي الدقة ومتعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)، ومنصات الرقائق. مصممة للعمل على مدار 24/7 في بيئات التفريغ العالي، ودرجات الحرارة المرتفعة، وبيئات البلازما، وتضمن ثبات درجة حرارة الرقاقة، وتُثبّت وصفات العمليات، وتُعظّم عائد الإنتاج. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقًا فوريًا (plug-and-play)، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات العقد المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميع لوحة PCB أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع أنظمة الحفر Kiyo ومنصات ExAL وأنظمة CVD/PVD. مُعايرة في المصنع ومختبرة لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/المزدوجات الحرارية)؛ يحقق استقرارًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C عبر خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة لحظية من المستشعر بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ وتعويض الانجراف البيئي وتأخر المستشعر.
- مصنّف للعمل في التفريغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي من التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، ومقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخلات الترددات الراديوية.
- تصميم معياري قابل للتبديل الساخن للاستبدال السريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة وصحة المستشعر وتسجيل الأعطال؛ يقلل من فترات التوقف غير المخطط لها.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة الرقائق 200mm / 300mm والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (عقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات، وقطع الغيار والترقيات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل توجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من المصنع—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدة.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.