الوصف:
تُعد لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research مكوّناً أساسياً لإدارة الحرارة في أنظمة حفر وترسيب ومعالجة رقائق أشباه الموصلات. توفر تنظيماً عالي الدقة ومتعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)، ومنصات الرقائق. صُممت للعمل على مدار الساعة (24/7) في بيئات عالية التفريغ، ودرجات حرارة مرتفعة، وبلازما، وتضمن ثبات درجة حرارة الرقاقة، واستقرار وصفات العمليات، وتعظيم إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقاً جاهزاً للتشغيل (plug-and-play)، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات العقد المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميعة PCB أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع أجهزة الحفر Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. مُعايرة ومختبرة في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ ويحقق استقراراً ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C باستخدام خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة لحظية من المستشعر بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ وتعويض الانجراف البيئي وتأخر المستشعر.
- مصنّف للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي من التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، ومقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخل الترددات الراديوية (RF).
- تصميم معياري قابل للاستبدال الساخن (hot-swappable) للاستبدال السريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة وصحة المستشعر وتسجيل الأعطال؛ مما يقلل فترات التوقف غير المخطط لها.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة رقائق 200mm / 300mm والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (عقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات، قطع الغيار والترقيات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانة؟
ج: منتجات أصلية جديدة تماماً. ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
ج: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.