الوصف:
لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research هي مكوّن أساسي لإدارة الحرارة في أنظمة حفر وترسيب ومعالجة رقائق أشباه الموصلات. توفر تنظيمًا حراريًا عالي الدقة متعدد القنوات للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، ومشابك الشحن الكهروستاتيكية (ESCs)، ومراحل الرقائق. تم تصميمها للعمل على مدار الساعة (24/7) في بيئات التفريغ العالي، ودرجات الحرارة المرتفعة، وبيئات البلازما، مما يضمن ثبات درجة حرارة الرقاقة، واستقرار وصفات العمليات، وتعظيم إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقًا فوريًا (plug-and-play)، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميع PCB أصلي من Lam Research، متوافق بالكامل مع محفّرات Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. مُعاير ومختبر في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/الثرموكوبل)؛ يحقق ثباتًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C باستخدام خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة لحظية من الحساسات بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ تعويض الانحراف البيئي وتأخر الحساسات.
- مُصمم للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي من التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، مقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مقاومة لتداخل البلازما والترددات الراديوية.
- تصميم معياري قابل للتبديل السريع (hot-swappable) لاستبدال سريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة، وصحة الحساسات، وتسجيل الأعطال؛ يقلل من التوقف غير المخطط.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة الرقائق 200mm / 300mm ومشابك ESCs
- مصانع أشباه الموصلات المتقدمة للمنطق/الذاكرة (عُقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات وقطع الغيار والترقيات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج والضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة متضمن.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T، وPaypal مدعومان.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المواعيد.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع ورابط التتبع بعد الشحن. متابعة كاملة من فريقنا طوال العملية.
س5: التعبئة والسلامة
ج: تعبئة أصلية من العلامة التجارية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، وصناديق خشبية لمعدات الدقة). مقاومة للرطوبة والصدمات.