الوصف:
لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research هي مكون أساسي لإدارة الحرارة في أنظمة حفر وترسيب ومعالجة الرقاقات في أشباه الموصلات. توفر تنظيمًا عالي الدقة متعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)، ومراحل الرقاقات. صُممت للعمل على مدار الساعة 24/7 في بيئات فراغ عالٍ، ودرجات حرارة مرتفعة، وبيئات البلازما، وتضمن ثبات درجة حرارة الرقاقات، واستقرار وصفات العمليات، وتعظيم إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقية التوصيل والتشغيل، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات العقد المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميعة لوحة PCB أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع حُفّارات Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. مُعايرة ومختبرة في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ ويحقق ثباتًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C باستخدام خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة من المستشعر في الوقت الحقيقي بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ وتعويض انجراف البيئة وتأخر المستشعر.
- مصنّف للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي من التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، ومقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخلات RF.
- تصميم معياري قابل للتبديل الساخن للاستبدال السريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة، وصحة المستشعر، وتسجيل الأعطال؛ يقلل من التوقف غير المخطط له.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo, ExAL, 9000 series)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة رقاقات 200mm / 300mm ومشابك ESCs
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (عُقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات، وقطع الغيار، والترقيات
الأسئلة الشائعة:
Q1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمان؟
أ: منتجات أصلية جديدة كليًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
Q2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
أ: T/T، Paypal مدعومان.
Q3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل توجد مخزون كافٍ؟
أ: الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
Q4: الشحن والتتبع
أ: متاح DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
Q5: التغليف والسلامة
أ: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.