الوصف:
لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research هي مكوّن أساسي لإدارة الحرارة في أنظمة حفر أشباه الموصلات، والترسيب، ومعالجة الرقائق. توفر تنظيمًا حراريًا عالي الدقة متعدد القنوات للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، وحوامل الكهرباء الساكنة (ESCs)، ومراحل الرقائق. تم تصميمها للعمل على مدار 24/7 في بيئات عالية الفراغ، ودرجات حرارة مرتفعة، وبيئات البلازما، مما يضمن ثبات درجة حرارة الرقاقة، واستقرار وصفات العملية، وتعظيم إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقًا مباشرًا (plug-and-play)، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميع لوحة PCB أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع حفر Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. تمت معايرتها واختبارها في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ ويحقق ثباتًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C من خلال خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة لحظية من الحساسات بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ مع تعويض انحراف البيئة وتأخر المستشعر.
- مصمم للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، ومحصّن ضد التداخل الكهرومغناطيسي، ومقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مقاومة لتداخل البلازما وRF.
- تصميم معياري قابل للاستبدال السريع (hot-swappable) لتبديل سريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة، وصحة الحساسات، وتسجيل الأعطال؛ مما يقلل من فترات التوقف غير المخطط لها.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة الرقائق 200mm / 300mm وحوامل الكهرباء الساكنة (ESCs)
- مصانع أشباه الموصلات للمنطق/الذاكرة المتقدمة (عقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات وقطع الغيار والترقيات
الأسئلة الشائعة:
Q1:ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
A:منتجات أصلية جديدة. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
Q2:ما هي شروط الدفع؟
A:T/T، وPaypal مدعومان.
Q3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل يتوفر مخزون كافٍ؟
A:الطرازات القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. الطرازات النادرة تتطلب طلبًا من المصنع—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة المدة الزمنية.
Q4:الشحن والتتبع
A:DHL/FedEx/UPS متاحة. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
Q5:التغليف والسلامة
A:تغليف أصلي للعلامة التجارية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.