الوصف:
تُعد لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research مكوّنًا أساسيًا لإدارة الحرارة في أنظمة حفر أشباه الموصلات، والترسيب، ومعالجة الرقاقات. توفر تنظيمًا عالي الدقة ومتعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، ومشابك الشحن الكهروستاتيكي (ESCs)، ومراحل الرقاقات. تم تصميمها للعمل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع في بيئات عالية الفراغ، ودرجات حرارة مرتفعة، وبيئات البلازما، مما يضمن ثبات درجة حرارة الرقاقات، واستقرار وصفات العمليات، وزيادة عائد الإنتاج. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافقية التوصيل والتشغيل، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات التقنيات المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميعة لوحة PCB أصلية من Lam Research، متوافقة بالكامل مع وحدات الحفر Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. مُعايرة ومختبرة في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ يحقق استقرارًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C باستخدام خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة آنية من الحساسات بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ تعويض الانحراف البيئي وتأخر المستشعر.
- مُصنّف للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي ضد التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، ومقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخل الترددات الراديوية RF.
- تصميم معياري قابل للتبديل السريع (hot-swappable) لاستبدال سريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة، وصحة المستشعر، وتسجيل الأعطال؛ يقلل من التوقف غير المخطط له.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo، ExAL، سلسلة 9000)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة الرقاقات 200mm / 300mm ومشابك ESCs
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (عقد 2nm/3nm)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات، وقطع الغيار، والتحديثات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
A: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة مشمول.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
A: T/T، Paypal مدعوم.
س3: ما مدة تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
A: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والتغليف والسلامة
A: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.