الوصف:
لوحة التحكم في درجة الحرارة من Lam Research هي مكوّن أساسي لإدارة الحرارة في عمليات حفر وترسيب وتصنيع الرقائق شبه الموصلة. توفر تنظيمًا عالي الدقة ومتعدد القنوات لدرجة الحرارة للحفاظ على تجانس حراري صارم عبر غرف العمليات، والمشابك الكهروستاتيكية (ESCs)، ومنصات الرقائق. تم تصميمها للعمل على مدار 24/7 في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما، وتضمن ثبات درجة حرارة الرقاقة، وتثبيت وصفات العمليات، وتعظيم إنتاجية التصنيع. تضمن لوحات Lam OEM الأصلية توافق plug-and-play، ومعايرة دقيقة، وموثوقية طويلة الأمد لمصانع أشباه الموصلات ذات التقنيات المتقدمة (2nm/3nm).
المواصفات الرئيسية:
- تجميع PCB أصلي من Lam Research، متوافق بالكامل مع أجهزة الحفر Kiyo، ومنصات ExAL، وأنظمة CVD/PVD. تمت معايرته واختباره في المصنع لضمان تكامل سلس.
- يدعم 16–24 قناة (مدخلات Pt100 RTD/thermocouple)؛ يحقق ثباتًا ±0.1°C عبر نطاق 25–150°C عبر خوارزميات PID ذات الضبط التلقائي.
- تحكم حلقي مغلق للتسخين/التبريد (متوافق مع TEC)؛ تغذية راجعة من الحساسات في الوقت الحقيقي بمعدل أخذ عينات 500Hz؛ مع تعويض انجراف البيئة وتأخر الحساس.
- مصنّف للعمل في الفراغ (≤1×10⁻⁶ Torr)، محمي ضد التداخل الكهرومغناطيسي (EMI)، مقاوم للاهتزاز؛ يعمل بشكل موثوق عند 0–55°C مع مناعة ضد البلازما وتداخلات RF.
- تصميم معياري قابل للتبديل الساخن للاستبدال السريع؛ تشخيصات مدمجة لدرجة الحرارة، وصحة الحساسات، وتسجيل الأعطال؛ يقلل من التوقف غير المخطط له.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما من Lam Research (Kiyo, ExAL, 9000 series)
- معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD/PVD/ALD
- غرف معالجة الرقائق 200mm / 300mm و ESCs
- مصانع المنطق/الذاكرة المتقدمة (2nm/3nm nodes)
- صيانة مصانع أشباه الموصلات، وقطع الغيار والتحديثات
الأسئلة الشائعة:
س1: ما حالة المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T، Paypal مدعوم.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. متابعة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.