الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة في معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُقترن أساسًا بوحدات بصرية احترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاثات البلازما، وانعكاس الأطياف ونفاذها داخل حجرات العمليات. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، وتضمن هذه الوحدات استقرار أداء العملية، وتحسين عائد الإنتاج وتقليل المنتجات المعيبة في الحفر و CVD و PVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM أصلية، تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد لأدوات عمليات LAM الكاملة.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية متميزة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي-المرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع التفريغ المستقر في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي تحديد دقيق لنقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخواص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الإفراط أو النقص في الحفر.
- منافذ اتصال مدمجة Ethernet و RS-232، متوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل البيانات بسلاسة وربط الأنظمة.
- تصميم مدمج ومتین مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 واستبدال سهل في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD و PVD و ALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات التفريغ
- منصات العمليات الرئيسية مثل LAM Research 2300 و 9400 و ExAL وغيرها
الأسئلة الشائعة:
س1:ما هو وضع المنتج وما هي الضمانة؟
ج: منتجات أصلية جديدة كليًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2:ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T، Paypal مدعومان.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ هل يوجد مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم شحنها خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من المصنع—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4:الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5:التعبئة والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.