الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة في معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُقرن أساسًا مع الوحدات البصرية الاحترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاثات البلازما وانعكاسها وأطياف النفاذية داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع للكشف عن نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، حيث تضمن هذه الوحدات استقرار أداء العملية، وتحسن مردود الإنتاج وتقلل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. باعتبارها مكونات متوافقة أصلية OEM، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد لأدوات عمليات LAM كاملة السلسلة.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية متميزة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي-المرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- واجهات ألياف قياسية SMA تدعم نقل الإشارة لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بثبات في بيئات التفريغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي الحكم الدقيق على نقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخواص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الإفراط في الحفر أو نقص الحفر.
- منافذ اتصال Ethernet وRS-232 مدمجة، متوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل البيانات بسلاسة وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر 24/7 وسهولة الاستبدال في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف العمليات الفراغية
- منصات العمليات الرئيسية LAM Research 2300 و9400 وExAL وغيرها
الأسئلة الشائعة:
س1: ما حالة المنتج وما هو الضمان؟
الجواب: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
الجواب: يدعم T/T و Paypal.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ هل هناك مخزون كافٍ؟
الجواب: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
الجواب: متوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + الرابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التعبئة والتغليف والسلامة
الجواب: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.