الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة ضمن معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم بشكل أساسي مع الوحدات البصرية الاحترافية، وتعتمد على تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما، وانعكاسها، وأطياف النفاذية داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، مما يضمن أداء عملية مستقر، ويحسن إنتاجية التصنيع ويقلل من المنتجات المعيبة في عمليات الحفر، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM أصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات معالجة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، مما يوفر دقة طيفية ممتازة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الأطوال الموجية فوق البنفسجي والمرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارة لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات التفريغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي تحديد دقيق لنقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الإفراط أو النقص في الحفر.
- مزودة بمنافذ اتصال مدمجة Ethernet و RS-232، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لضمان تكامل سلس للبيانات وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 واستبدالًا سهلاً في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة حفر البلازما، معدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD و PVD و ALD
- كشف نقطة نهاية عمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة ومعامل الانعكاس في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات التفريغ
- LAM Research 2300، 9400، ExAL وغيرها من منصات العمليات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هو الضمان؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. تشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: يتم دعم التحويل البنكي (T/T) و Paypal.
س3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل يتوفر مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: يتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف أصلي للعلامة التجارية مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.