الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة لمعدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم أساساً مع الوحدات البصرية الاحترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاثات البلازما وانعكاسها وأطياف النفاذ داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع لاكتشاف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، وتضمن هذه الوحدات أداء عملية مستقراً، وتحسن مردود الإنتاج وتقلل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة مع OEM الأصلية، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد لأدوات عمليات LAM كاملة السلسلة.
المواصفات الرئيسية:
- مجهزة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية متميزة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الطول الموجي فوق البنفسجي-المرئي لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف SMA القياسية نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بثبات في بيئات الفراغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي حكماً دقيقاً لنقطة نهاية الحفر، وسمك الأغشية الرقيقة وقياس الخصائص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الحفر الزائد أو الناقص.
- مجهزة بمنافذ اتصال Ethernet وRS-232 مدمجة، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل بيانات سلس وربط النظام.
- هيكل مدمج ومتین مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتداخل. يدعم التشغيل المستمر 24/7 والاستبدال السهل في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات التفريغ
- LAM Research 2300 و9400 وExAL وغيرها من منصات العمليات الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
Q1: ما هي حالة المنتج وما الضمان؟
A: منتجات أصلية جديدة كلياً. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
Q2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
A: T/T، وPaypal مدعومان.
Q3: ما هو وقت تسليم المنتج؟ وهل يوجد مخزون كافٍ؟
A: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلباً من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
Q4: الشحن والتتبع
A: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
Q5: التعبئة والتغليف والسلامة
A: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.