الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة في معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُقرن أساسًا مع وحدات بصرية احترافية، وتعتمد تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما وانعكاسها وأطياف النفاذ داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع لاكتشاف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الحقيقي، وتضمن هذه الوحدات استقرار أداء العملية، وتحسن إنتاجية التصنيع وتقلل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع الفراغي. وباعتبارها مكونات متوافقة أصلية OEM، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع أدوات العمليات الكاملة من LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية متميزة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الأطوال الموجية فوق البنفسجية والمرئية لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بشكل مستقر في بيئات التفريغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الحقيقي الحكم الدقيق على نقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يتجنب بشكل فعال الحفر الزائد أو الناقص.
- منافذ اتصال مدمجة Ethernet وRS-232، متوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لضمان تفاعل بيانات سلس وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتشويش. يدعم التشغيل المستمر على مدار 24/7 وسهولة الاستبدال في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة الحفر بالبلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- اكتشاف نقطة النهاية لعمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية داخل العملية
- تحليل حالة البلازما في الوقت الحقيقي لغرف عمليات التفريغ
- LAM Research 2300، 9400، ExAL ومنصات العمليات الرئيسية الأخرى
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هو وضع المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع لديكم؟
ج: يتم دعم T/T وPaypal.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل تتوفر مخزونات كافية؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم تتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.