الوصف:
مطيافات الألياف الضوئية من LAM Research هي أجهزة مراقبة بصرية عالية الدقة مدمجة في معدات معالجة رقائق أشباه الموصلات. تُستخدم بشكل أساسي مع وحدات بصرية احترافية، وتعتمد على تصميم نقل عبر الألياف الضوئية لالتقاط انبعاث البلازما وطيف الانعكاس والنفاذ داخل غرف العمليات. تُستخدم على نطاق واسع في كشف نقطة نهاية الحفر، وقياس الأغشية الرقيقة، ومراقبة حالة البلازما في الوقت الفعلي، تضمن هذه الوحدات أداءً مستقرًا للعملية، وتحسن إنتاجية التصنيع وتقلل المنتجات المعيبة في عمليات الحفر وCVD وPVD وغيرها من عمليات التصنيع بالتفريغ. وباعتبارها مكونات متوافقة أصلية من OEM، فهي تتميز بتوافق ممتاز وموثوقية طويلة الأمد مع جميع أدوات معالجة LAM.
المواصفات الرئيسية:
- مزودة بكواشف CCD/PMT عالية الحساسية، توفر دقة طيفية متميزة وضوضاء منخفضة. تغطي نطاق الأطوال الموجية فوق البنفسجية والمرئية لتلبية متطلبات مراقبة عمليات أشباه الموصلات المتنوعة.
- تدعم واجهات الألياف القياسية SMA نقل الإشارات لمسافات طويلة. تعمل المجسات المتوافقة مع الفراغ بثبات في بيئات التفريغ العالي ودرجات الحرارة المرتفعة والبلازما.
- يتيح تحليل الطيف في الوقت الفعلي الحكم الدقيق على نقطة نهاية الحفر، وقياس سماكة الأغشية الرقيقة والخصائص البصرية، مما يتجنب فعليًا الإفراط أو النقص في الحفر.
- تحتوي على منافذ اتصال Ethernet وRS-232 مدمجة، ومتوافقة بالكامل مع بروتوكولات معدات LAM لتبادل البيانات بسلاسة وربط النظام.
- هيكل مدمج وقوي مع قدرة على مقاومة الاهتزاز والتشويش. يدعم التشغيل المستمر 24/7 وسهولة الاستبدال في الموقع.
التطبيقات النموذجية:
- أنظمة حفر البلازما، ومعدات ترسيب الأغشية الرقيقة CVD وPVD وALD
- كشف نقطة نهاية عمليات حفر الرقائق
- قياس سماكة الأغشية الرقيقة والانعكاسية في الموقع
- تحليل حالة البلازما في الوقت الفعلي لغرف عمليات التفريغ
- LAM Research 2300 و9400 وExAL وغيرها من منصات المعالجة الرئيسية
الأسئلة الشائعة:
س1: ما هي حالة المنتج وما هي الضمانات؟
ج: منتجات أصلية جديدة تمامًا. يشمل ضمان لمدة سنة واحدة.
س2: ما هي شروط الدفع؟
ج: T/T، Paypal مدعومة.
س3: ما هي مدة تسليم المنتج؟ وهل هناك مخزون كافٍ؟
ج: النماذج القياسية متوفرة في المخزون، ويتم الشحن خلال 3–5 أيام عمل بعد الدفع. النماذج النادرة تتطلب طلبًا من الشركة المصنعة—يرجى التواصل مع خدمة العملاء لمعرفة الجداول الزمنية.
س4: الشحن والتتبع
ج: تتوفر DHL/FedEx/UPS. يتم توفير رقم التتبع + رابط بعد الشحن. مراقبة كاملة للعملية من قبل فريقنا.
س5: التغليف والسلامة
ج: تغليف العلامة التجارية الأصلي مع حماية معززة (رغوة، صناديق محكمة الإغلاق، صناديق خشبية للمعدات الدقيقة). مقاوم للرطوبة والصدمات.